米Applied Materials(AMAT)は3月20日(米国時間)、次世代のタブレットPCやテレビ向けの高性能・高精細なディスプレイを製造する新しいプラズマCVD成膜技術を搭載した「AKT-PECVD装置」を発表した。同装置によって成膜される先進的な絶縁膜により、酸化物半導体 ...
米Applied Materials(AMAT)は7月7日(米国時間)、3Dチップ構造に対応したCVD(化学気相成長)装置「Applied Producer XP Precision」と、CMP(化学機械研磨)装置「Applied Reflexion LK Prime」を発表した。 2つの装置は、プレシジョンマテリアルズエンジニアリング(精密材料技術)の ...
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