東京エレクトロン(TEL)は、ベルギーIMECと誘導自己組織化(DSA:Directed Self-Assembly)技術の開発を加速することに合意したと発表した。 両社は最近の評価により、ブロック共重合体(BCP:Block Copolymers)のDSA技術を用いて微細パターンの周期を上げることが可能である ...