東レ・ダウコーニングは5月12日、4インチのSiCウェハ製品のプライム・グレードを新たに3つのグレードに分けたと発表した。 これは、マイクロパイプ転位(MPD)や貫通らせん転位(TSD)、基底面転位(BPD)のような、デバイスの致命的なキラー欠陥に対する新たな ...