株式会社ニコン（社長:馬立 稔和、東京都港区）は、高い重ね合わせ精度と高スループットを実現し、最先端の半導体デバイス製造に対応するArF液浸スキャナー「NSR-S636E」の開発を進めています。発売は、2023年を予定しています。 DX（デジタル ...

株式会社光響は、このたびNikon-Trimble社製レーザースキャナーの取り扱いを開始いたしました。 Nikon-Trimble社は、株式会社ニコンと米国Trimbleとの合弁企業であり、大手測量機器メーカーです。 据え置き型の3Dスキャナーやトータルステーションを始め、様々な ...

株式会社ニコン（社長:馬立 稔和、東京都港区）は、ミドルクリティカルレイヤー向けのArF液浸スキャナー「NSR-S625E」を発売します。スループットおよび装置の稼働安定性を向上させたことで、ニコンの半導体露光装置史上最高の生産性を実現し、様々な ...

ニコンは9月25日、重ね合わせ精度をMMO(同一機種間)で4nm以下としながらも、1時間あたり300枚を超すスループットを提供するArF(ドライ)露光装置(スキャナ)「NSR-S333F」の受注を10月より開始することを発表した。 同装置は、同社の最上位機種ArF液浸スキャナ「NSR ...