【プレスリリース】発表日:2025年12月15日300mmウェーハ塗布・現像装置CLEAN TRACK(TM) LITHIUS Pro DICE(TM) 販売開始のお知らせ東京エレクトロン（TEL、東京都港区、社長 : ...

BSIグループジャパン株式会社（東京都港区 代表取締役社長 根本 英雄、以下 BSIジャパン）は、株式会社湯沢クリーンセンター（秋田県湯沢市 代表取締役 安藤 誠一郎）に対し、JIS Q 9091（品質マネジメントシステム プラスチック・リサイクル材料－事業 ...

ベルギーの独立系半導体ナノエレクトロニクス研究機関であるimecは、同国ルーベン(Leuven)郊外の小さな町Heverleeにある同社本部キャンパス(図1)内にかねてより建設中であった新しい300mmクリーンルーム(床面積4000m 2)を2016年3月に開所した(図2)。 次々世代の ...

imecは、もともと2016年から450mmウェハを用いた7nmプロセス開発のための研究開発パイロットラインを稼働させる計画を2012年に立てていた(図7)。 この計画における第1期計画(2013～2016年)では、既存の300mmクリーンルームで450mmプロセスモジュールをいくつか選択 ...