みなさんこんにちは!今日は、東北大学らが発表した電子機器内の熱流を自在に制御できるメカニズムを発見したという論文が興味深かったので、取り上げたいと思います💡 今回の発表の概要は以下の通りです👇 ・絶縁膜の熱の流れを自在に制御できる ...
Siウエハのデバイスで使われる保護膜・絶縁膜は、一般的にはSiO2、SiN、特殊な例ではTaOが使われる。SiO2の成膜方法にはどんな種類があるのか。 SiO2の成膜方法概要 ...
いちごSi株式会社(以下、「いちごSi」という。)は、植物性シリカSiO2(二酸化ケイ素)の生成、応用、提供による収益化を目指した研究開発のために設立された当社100%出資の連結子会社です。 この度、いちごSiのホームページを開設いたしましたので、お ...
SiO2膜の厚さが2nm前後に達し,リーク電流が無視できなくなったためである。 今後はリーク電流を抑制できる高誘電率(high-k)ゲート絶縁膜が欠かせなくなる。 さらに薄膜化を加速するためには金属のメタル・ゲートが必要になる。
名古屋工業大学セラミックス基盤工学研究センターの藤正督センター長・教授の研究グループは、SiO2(シリカ)製のナノ中空粒子を樹脂内に均一に分散させる技術を開発し、窓ガラスなどに貼る断熱フィルムに応用する基盤技術を確立した(図1)。
もっと薄く、もっと強いガラスの実現に向けて ポイント ・ ガラスの標準的な製法である溶融法を用いて、変形しにくく硬いガラスを従来よりも低温で実現 ・ 硬いガラスの実現と希少金属含有量の低減を両立 ・ ...
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