\ ASML Tech|リソグラフィーデバイスセンサとアクチュエーター/ 半導体露光装置には、非常に小さく繊細なセンサーやアクチュエーターが何千個も使われていることをご存じでしょうか?センサーによって計測された情報をもとに、位置の補正や次の動作を判断し、アクチュエーターがその指示に従って動く、といった仕組みです。 今回は、シニアソフトウェアアーキテクトのルイス・ビンズが、露光装置のセンサーとアクチュエーターについて解説した記事の一部をご紹介します。 ーーーーーーーーー センサー機能を持つスキャナーは、1時間に何百枚ものウェハを測定しています。最大16Gの加速度で動作し、加熱と冷却を繰り返す露光装置の部品やウェハ、マスクなどの位置や温度などを24時間365日止まることなく計測しているのです。このセンサーで計測された値は、「計測システム」で処理を行い、最適なアクチュエーターの設定に役立っています。 また露光装置には、大きさも性能も様々なアクチュエーターが何千個も搭載されており、その規模や性能はさまざまです。 露光装置の一端には、ウェハを移動させるロボットアームやステージがあり、もう一方には
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\ ASML Tech|リソグラフィーデバイスセンサとアクチュエーター/ 半導体露光装置には、非常に小さく繊細なセンサーやアクチュエーターが何千個も使われていることをご存じでしょうか?センサーによって計測された情報をもとに、位置の補正や次の動作を判断し、アクチュエーターがその指示に従って動く、といった仕組みです。 今回は、シニアソフトウェアアーキテクトのルイス・ビンズが、露光装置のセンサーとアクチュエーターについて解説した記事の一部をご紹介します。 ーーーーーーーーー センサー機能を持つスキャナーは、1時間に何百枚ものウェハを測定しています。最大16Gの加速度で動作し、加熱と冷却を繰り返す露光装置の部品やウェハ、マスクなどの位置や温度などを24時間365日止まることなく計測しているのです。このセンサーで計測された値は、「計測システム」で処理を行い、最適なアクチュエーターの設定に役立っています。 また露光装置には、大きさも性能も様々なアクチュエーターが何千個も搭載されており、その規模や性能はさまざまです。 露光装置の一端には、ウェハを移動させるロボットアームやステージがあり、もう一方には
視聴回数: 7万 回2023年11月7日
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