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性能提升数十倍!浙大发布万通道光刻机 浙江大学极端光学技术与仪器全国重点实验室在杭州发布万通道3D纳米激光直写光刻机实现加工精度亚30纳米、加工速率每分钟42.7平方毫米,这是我国在高精度微纳制造装备领域的一次重要突破,对提升国产光刻工艺良率有直接帮助。#万通道光刻机 #激光直写光刻机 #高精度微纳制造装备 #国产光刻 #光刻机
1 か月前
douyin.com
信创研报
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